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|육불화황||SF<sub>6</sub>||146||2.0||24~48||18||1~2주 | |육불화황||SF<sub>6</sub>||146||2.0||24~48||18||1~2주 | ||
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|과불화 메탄||CF<sub>4</sub>||88||1.9||-||-||1~2주 | |과불화 메탄||CF<sub>4</sub>||88||1.9~2.0||-||-||1~2주 | ||
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|과불화 에탄||C<sub>2</sub>F<sub>6</sub>||138||3.3||36~60||15~16||4~5주 | |과불화 에탄||C<sub>2</sub>F<sub>6</sub>||138||3.3||36~60||15~16||4~5주 | ||